等离子体被称为物质第四形态，由电子、离子、自由基和中性粒子组成。低温等离子体有机气体净化器是利用等离子体。以每秒800万次至5000万次的速度反复轰击异味气体的分子，去激活、电离、裂解废气中的各种成分，从而发生氧化等一系列复杂的化学反应，再经过其他废气治理设备多级净化，将有害物质转化为洁净的空气释放至大自然。

等离子体有机废气治理设备工作原理是采用高压发生器形成低温等离子体，在平均能量约8ev的大量电子作用下，使通过处理器的苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的    O2结合生成H20、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。

在废气治理设备处理废气过程中，当有机气体进入等离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室。反应室分成模块式管子区，每根管子的中央有一根放电极，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通到管子里的管状电线上。由电线至管壁产生放电现象。

一旦放电，等离子体电子就与气体分子相撞击，产生化学性活性核素，就是通常所说的激进和负荷载体。此外，还具有微型静电沉淀器的功能，该装置可以除尘。

同时，注入环境或者二级气体来优化反应室的湿度和温度登记，与此同时加入离子来改善反应室内的反应。这种冷离子体处理方法使有机气体在低温下进行“氧化”。