UV光催化氧化工艺主要是利用光催化剂（如Ti02)的光催化性，氧化吸附在催化剂表面的VOCs。利用特定波长的光照射Ti02光催化剂，激发出“电子-空穴”对，这种“电子-空穴”对与水、氧发生化学反应，产生具有极强氧化能力的自由基活性物质，将吸附在催化剂表面上的有机物氧化为CO2和H2O等无毒无害物质。该法适用于各类VOCs的治理，处理效率高，无二次污染物产生、适用于大风量，低浓度有机废气的处理，尤其适用于汽车烤漆房废气治理。2、投资成本低、运行成本低；技术成熟、运行稳定、安全性高； 需与其他处理工艺匹配组合才能达到理想净化效果。

低温等离子体技术又称为非平衡等离子体技术，是在外加电场的作用下，通过介质放电产生大量的高能粒子，其与有机污染物分子发生一系列复杂的等离子体物理一化学反应，从而将有机污染物降解为无毒无害物质。目前，低温等离子体技术已经投入生产工程中。 该法适用于各类VOCs的治理，处理效率高，无二次污染物产生、易操作，相较于UV光催化氧化工艺来说特别适用于对气体流量大、浓度低的有机废气的处理。但是该工艺能耗较高，成本大，不成熟。