用UV光催化氧化设备获得的臭氧，因获得复合离子光子的能量后，能极为迅速的分解，分解后产生的氧化性更强的自由基O/OH/H2O等。O/OH/H2O与恶臭气体发生一系列协同、连锁反应，恶臭气体被氧化讲解为低分子物质，水喝二氧化碳，而达到除臭的目的。

恶臭气体的去除率的高低与紫外线能量，臭氧产生量及废气浓度有关，并受到恶臭气体的成分及杂质等因子的影响。应用UV光催化氧化设备处理废气物质，其化学反应过程是及其复杂的过程，高能紫外线光能能将恶臭化学物质，拆解为独立的原子，再通过分解空气中的氧气，产生性质活跃的正负氧离子，继而产生臭氧，同时将拆解为独立原子的化学物质通过臭氧的氧化反应，重新组合成低分子的化合物如：水、二氧化碳等。这是一个协同、连锁复杂的反应过程，在很短的时间内（2-3秒）就可完成。在研究过程中，我们进一步发现，当恶臭气体的分子量越大时，UV光催化氧化设备处理废气效果就越明显。在特种能量当级的紫外线作用下，大多数化学物质都能得到高效分解。